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Indiscriminate revelation of dislocations in single crystal SiC by inductively coupled plasma etching

作者

Yi Zhang,Rulin Li,Yongjie Zhang,Dianzi Liu,Hui Deng

出处

期刊：Journal of The European Ceramic Society [Elsevier BV]
日期：2019-03-16 卷期号：39 (9): 2831-2838 被引量：32

标识

DOI：10.1016/j.jeurceramsoc.2019.03.026

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