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Study on the mechanism of second phase formation in high-purity fused silica materials for semiconductor application

半导体 材料科学 机制（生物学） 相（物质） 化学工程 化学 光电子学 有机化学 工程类 物理 量子力学
作者
Zechen Hu,Zhongqing Yu,Tong Zhao,Dandan Ding,Lin Xiang,Yongsheng Ji,Lihua Peng,Deren Yang,Xuegong Yu
出处
期刊：Journal of Non-crystalline Solids [Elsevier]
日期：2024-07-01 卷期号：635: 122990-122990
标识
DOI：10.1016/j.jnoncrysol.2024.122990
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