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Study on the mechanism of second phase formation in high-purity fused silica materials for semiconductor application

半导体 材料科学 机制（生物学） 相（物质） 化学工程 化学 光电子学 有机化学 工程类 物理 量子力学
作者
Zechen Hu,Zhiguo Yu,Tong Zhao,Degong Ding,Xiang Lv,Yongsheng Ji,Lihua Peng,Deren Yang,Xuegong Yu
出处
期刊：Journal of Non-crystalline Solids [Elsevier BV]
日期：2024-04-27 卷期号：635: 122990-122990 被引量：9
标识
DOI：10.1016/j.jnoncrysol.2024.122990
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