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Study on the mechanism of second phase formation in high-purity fused silica materials for semiconductor application

半导体材料科学机制（生物学）相（物质）化学工程化学光电子学有机化学工程类物理量子力学

作者

Zechen Hu,Zhiguo Yu,Tong Zhao,Degong Ding,Xiang Lv,Yongsheng Ji,Lihua Peng,Deren Yang,Xuegong Yu

出处

期刊：Journal of Non-crystalline Solids [Elsevier BV]
日期：2024-04-27 卷期号：635: 122990-122990 被引量：9

标识

DOI：10.1016/j.jnoncrysol.2024.122990

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