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Low-temperature fabrication of silicon nitride thin films from a SiH4+N2 gas mixture by controlling SiNx nanoparticle growth in multi-hollow remote plasma chemical vapor deposition
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作者
Kunihiro Kamataki,
Yusuke Sasaki,
Iori Nagao,
Daisuke Yamashita,
Takamasa Okumura,
Naoto Yamashita,
Naho Itagaki,
Kazunori Koga,
Masaharu Shiratani
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier]
日期：2023-05-31
卷期号：164: 107613-107613
被引量：9
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2023.107613
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