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标题
Alternating a-C:H coating effect on torsional strength of silicon beam for micromirrors
相关领域
材料科学 涂层 复合材料 微观结构 薄脆饼 等离子体增强化学气相沉积 硅 堆积 扭转（腹足类） 化学气相沉积 光电子学 核磁共振 物理 外科 医学
网址
https://doi.org/10.1016/j.sna.2023.114713
DOI
10.1016/j.sna.2023.114713 doi
其它 期刊：Sensors and Actuators A Physical
作者：Yuanlin Xia; Lei Zhong; Jiaxing Tan; Zhuqing Wang; Amit Banerjee; et al
出版日期：2023-10-04
求助人
小白菜 在 2026-01-10 04:29:28 发布自山东，悬赏 10 积分
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