Deposition techniques for thin film development in microelectronic devices

微电子 沉积(地质) 材料科学 薄膜 光电子学 计算机科学 纳米技术 工程物理 工程类 地质学 沉积物 古生物学
作者
Gazal Sharma,Sudhir Jugran,Shweta Bansal,Rajat Gera,Koteswara Rao Peta,C. Shruthi
出处
期刊:Nucleation and Atmospheric Aerosols 卷期号:3157: 120025-120025
标识
DOI:10.1063/5.0263418
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