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Using a FEM-based Maxwell solver and CD-RSoXS measurement for the analysis of photoresist pattern
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作者
Anna Andrle,
Qi Zhang,
Emma Vargo,
Harlan Heilman,
Thomas Ferron,
Weilun Chao,
Zhengxing Peng,
Warren Holcomb,
Ryan Miyakawa,
Ricardo Ruiz,
Dinesh Kumar,
Alexander Hexemer,
Patrick Naulleau,
Bruno La Fontaine,
Cheng Wang
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DOI：10.1117/12.3051461
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