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Improvement of the RON- BV Tradeoff in Field-Plate MOSFETs by Localized Fixed Charges in the Trench Oxide

沟槽 MOSFET 材料科学 领域（数学） 氧化物 光电子学 工程物理 电气工程 物理 纳米技术 工程类 数学 电压 晶体管 冶金 图层（电子） 纯数学
作者
Taichi Fukuda,Yusuke Kobayashi,S. Baba,Hiro Gangi,Hiroki Nemoto,T. Inokuchi,Hirofumi Kawai,Tatsuya Nishiwaki,Kazuto Takao
标识
DOI：10.1109/ispsd59661.2024.10579633
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