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Structural and Hardness Characteristics of Silicon Nitride Thin Films Deposited on Metallic Substrates by DC Reactive Sputtering Technique

材料科学 硅 氮化硅 溅射 氮化物 基质（水族馆） 纳米晶硅 薄膜 复合材料 纳米技术 光电子学 晶体硅 图层（电子） 地质学 海洋学 非晶硅
作者
Diyar Ali Taher,Mohammed A. Hameed
出处
期刊：Silicon [Springer Nature]
日期：2023-08-19 卷期号：15 (18): 7855-7864 被引量：4
标识
DOI：10.1007/s12633-023-02604-2
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