原子层沉积
蚀刻(微加工)
选择性
吸附
沉积(地质)
纳米技术
氧化物
二硅烷
单层
氮化物
材料科学
图层(电子)
缓冲氧化物腐蚀
自组装单层膜
纳米结构
化学工程
化学
硅
有机化学
光电子学
反应离子刻蚀
催化作用
沉积物
工程类
古生物学
生物
作者
Jeong‐Min Lee,Jinseon Lee,Hongjun Oh,Jiseong Kim,Bonggeun Shong,Tae Joo Park,Woo‐Hee Kim
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2022.152939
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