Inhibitor-free area-selective atomic layer deposition of SiO2 through chemoselective adsorption of an aminodisilane precursor on oxide versus nitride substrates

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作者
Jeong‐Min Lee,Jinseon Lee,Hongjun Oh,Jiseong Kim,Bonggeun Shong,Tae Joo Park,Woo‐Hee Kim
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:589: 152939-152939 被引量:30
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2022.152939
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