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作者
Ching-Tai Fu,Chia-Tung Kuo,Chong‐Chi Chi,Lu-Cheng Hou,Chao-I Liu,Shu-Chih Chang,Yuan-Mau Lee,Yu-Hsuan Chuang,Tri‐Rung Yew
出处
期刊：Journal of Electronic Materials [Springer Science+Business Media]
日期：2022-06-12 卷期号：51 (9): 4884-4895 被引量：4
标识
DOI：10.1007/s11664-022-09709-1
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