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MEMS法布里-珀罗滤波芯片及其光谱探测应用研究进展
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作者
周奎 Zhou Kui,
单政 Shan Zheng,
张倩 Zhang Qian,
王谢君 Wang Xiejun,
周健 Zhou Jian,
邓宸伟 Deng Chenwei,
虞益挺 Yu Yiting
出处
期刊:
Guangxue xuebao
[Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics]
日期:2022-01-01
卷期号:42 (8): 0800001-0800001
被引量:2
标识
DOI:10.3788/aos202242.0800001
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