Picosecond laser modification enhances machinability of SiC slices through surface structure evolution

可加工性 材料科学 皮秒 激光器 表面改性 光学 光电子学 冶金 化学工程 机械加工 工程类 物理
作者
Haixu Liu,Ping Zhang,Dunwen Zuo
出处
期刊:Materials Science And Engineering: B [Elsevier]
卷期号:323: 118729-118729
标识
DOI:10.1016/j.mseb.2025.118729
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