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Advances in direct optical lithography of nanomaterials
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作者
Yuelin Yang,
Jie Guan,
Nannan Zhang,
Lin Ru,
Yihao Zou,
Yuanyuan Wang
出处
期刊：
Journal of materials chemistry. A, Materials for energy and sustainability
[Royal Society of Chemistry]
日期：2024-01-01
卷期号：12 (47): 32505-32525
被引量：19
标识
DOI：10.1039/d4ta06618a
摘要
This review presents recent advancements in direct optical lithography of nanomaterials, covering the technique's evolution, key patterning strategies, applications, and future research directions.
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