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Preparation and Investigation of Optoelectronic Properties of Polarity-Controllable Titanium Oxide Thin Films Using High-Power Impulse Magnetron Sputtering

材料科学 高功率脉冲磁控溅射 溅射沉积 光电子学 薄膜 氧化钛 溅射 腔磁控管 极性(国际关系) 氧化物 脉冲(物理) 纳米技术 冶金 化学工程 物理 工程类 生物 量子力学 细胞 遗传学
作者
S.‐C. Hsu,Chao-Kuang Wen,Sheng‐Chi Chen,Yuqi Lu,Li‐Hsien Yeh,Hui Sun
出处
期刊:Ceramics International [Elsevier BV]
标识
DOI:10.1016/j.ceramint.2024.11.459
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