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Effects of In/Zn composition on the Performance of Ultra-thin Atomic Layer Deposited InxZnl-xO Channel Thin-Film Transistors

原子层沉积 材料科学 薄膜晶体管 光电子学 薄膜 图层（电子） 晶体管 频道（广播） 电气工程 纳米技术 电压 工程类
作者
Yan-Kui Liang,June-Yang Zheng,Jim J. Lin,Yi Miao Hua,Tsung-Te Chou,Chin Lung Lu,Huai-Ying Huang,Yu-Ming Lin,Chi-Chung Kei,En-Chih Chang,Chih-Min Lin
标识
DOI：10.1109/edtm55494.2023.10103052
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