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ChemInform Abstract: High Quality Al2O3 Thin Films Prepared by a Novel Two‐Step Evaporation Process.
作者
Junji Saraie,
Seishi Goto,
Yasunori Kitao,
Yutaka Yodogawa
出处
期刊：
ChemInform
[Wiley]
日期：1988-03-01
卷期号：19 (9)
标识
DOI：10.1002/chin.198809389
摘要
Abstract A novel two‐step electron beam evaporation process has been developed, in which a very thin film is evaporated at 20 °C and the remaining part is evaporated subsequently at 250 °C without breaking the vacuum.
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