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Using flexural MEMS to study and exploit nonlinearities: a review

利用 微电子机械系统 抗弯强度 计算机科学 电子工程 材料科学 工程类 结构工程 纳米技术 计算机安全
作者
Sidhant Tiwari,Rob N. Candler
出处
期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering [IOP Publishing]
日期：2019-06-10 卷期号：29 (8): 083002-083002 被引量：26
标识
DOI：10.1088/1361-6439/ab23e2
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