磨料
材料科学
化学机械平面化
抛光
薄脆饼
复合材料
表面粗糙度
同种类的
图层(电子)
磨损(机械)
表面光洁度
降级(电信)
化学反应
芯(光纤)
原子氧
原子力显微镜
纳米
形态学(生物学)
化学工程
产量(工程)
作者
Lanxing Xu,Mingfeng Ke,Liang Zhao,Kaiping Feng,Yi-Xiang Wang,Tianchen Zhao,Binghai Lyu
标识
DOI:10.1016/j.jmatprotec.2026.119400
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