Fenton reaction-assisted chemical mechanical polishing of SiC wafer using gel disc with Al₂O₃‑SiO₂ core‑shell abrasives

磨料 材料科学 化学机械平面化 抛光 薄脆饼 复合材料 表面粗糙度 同种类的 图层(电子) 磨损(机械) 表面光洁度 降级(电信) 化学反应 芯(光纤) 原子氧 原子力显微镜 纳米 形态学(生物学) 化学工程 产量(工程)
作者
Lanxing Xu,Mingfeng Ke,Liang Zhao,Kaiping Feng,Yi-Xiang Wang,Tianchen Zhao,Binghai Lyu
出处
期刊:Journal of Materials Processing Technology [Elsevier BV]
卷期号:354: 119400-119400
标识
DOI:10.1016/j.jmatprotec.2026.119400
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