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Thickness determination of low doped SiC epi-films on highly doped SiC substrates

材料科学兴奋剂基质（水族馆）化学气相沉积电介质分析化学（期刊）红外线的谱线薄膜光学光电子学化学纳米技术物理色谱法天文地质学海洋学

作者

M. F. MacMillan,Anne Henry,Erik Janzén

出处

期刊：Journal of Electronic Materials [Springer Science+Business Media]
日期：1998-04-01 卷期号：27 (4): 300-303 被引量：30

标识

DOI：10.1007/s11664-998-0404-9

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