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Importance of substrate rotation speed on the growth of homogeneous ZnO thin films by reactive sputtering

材料科学 溅射 基质（水族馆） 旋转（数学） 薄膜 苏打石灰玻璃 透射率 转速 同种类的 沉积（地质） 复合材料 光学 光电子学 纳米技术 几何学 古生物学 生物 地质学 物理 海洋学 热力学 量子力学 数学 沉积物
作者
Vinoth Kumar Jayaraman,Yasuhiro Matsumoto Kuwabara,Arturo Maldonado Álvarez,María de la Luz Olvera Amador
出处
期刊：Materials Letters [Elsevier]
日期：2016-01-19 卷期号：169: 1-4 被引量：44
标识
DOI：10.1016/j.matlet.2016.01.088
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