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ALD preparation of high-k HfO2 thin films with enhanced energy density and efficient electrostatic energy storage

高-κ电介质 材料科学 储能 能量密度 能量（信号处理） 薄膜 纳米技术 化学工程 光电子学 工程物理 物理 热力学 电介质 工程类 量子力学 功率（物理）
作者
Le Zhang,Ming Liu,Wei Ren,Ziyao Zhou,Guohua Dong,Yijun Zhang,Bin Peng,Xihong Hao,Chenying Wang,Zhuangde Jiang,Weixuan Jing,Zuo‐Guang Ye
出处
期刊：RSC Advances [Royal Society of Chemistry]
日期：2017-01-01 卷期号：7 (14): 8388-8393 被引量：49
链接
rsc.org rsc.orgdoi.org
标识
DOI：10.1039/c6ra27847g
摘要
The energy density and energy efficiency deteriorate slightly from room temperature to 150 °C.
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