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Reduction of trap density in high-k dielectrics through optimized ALD process and high-pressure deuterium annealing

材料科学 高-κ电介质 退火（玻璃） 高压 电介质 存水弯（水管） 氘 光电子学 分析化学（期刊） 工程物理 原子物理学 冶金 有机化学 化学 物理 环境工程 工程类
作者
Taewon Hwang,Su‐Hwan Choi,Kie Moon Song,Yeonhee Lee,Jae-Hyeok Kwag,J. H. Lee,Chang-Kyun Park,Jin‐Seong Park
出处
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2025-02-15 卷期号：191: 109380-109380
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2025.109380
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