Effect of Thermal Annealing on the Structural and Electrical Properties of Hafnium Oxide Films

材料科学 退火(玻璃) 铪 氧化物 热的 固体物理学 工程物理 复合材料 冶金 凝聚态物理 热力学 锆 物理 工程类
作者
A. V. Pavlikov,I. D. Kuchumov,M. N. Martyshov,Д. М. Жигунов,A. S. Ilin,A. V. Koroleva,Timofey Savchuk
出处
期刊:Physics of the Solid State [Pleiades Publishing]
卷期号:66 (12): 557-564 被引量:1
标识
DOI:10.1134/s1063783424601917
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