Thin film characterization by learning-assisted multi-angle polarized microscopy

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作者
Zhaolou Cao,Yunyun Chen,Fenglin Xian,Haidong Ren,Bing Tu
出处
期刊:Optics Letters [Optica Publishing Group]
卷期号:49 (3): 598-598 被引量:1
标识
DOI:10.1364/ol.514327
摘要

Thin film characterization is a necessary step in the semiconductor industry and nanodevice fabrication. In this work, we report a learning-assisted method to conduct the measurement based on a multi-angle polarized microscopy. By illuminating the film with a tightly focused vectorial beam with space-polarization nonseparability, the angle-dependent reflection coefficients are encoded into the reflected intensity distribution. The measurement is then transformed into an optimization problem aiming at minimizing the discrepancy between measured and simulated image features. The proposed approach is validated by numerical simulation and experimental measurements. As the method can be easily implemented with a conventional microscope, it provides a low cost solution to measure film parameters with a high spatial resolution and time efficiency.
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