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Impact of operation voltage and NH3 annealing on the fatigue characteristics of ferroelectric AlScN thin films grown by sputtering

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作者

Kyung Do Kim,Yong Bin Lee,Suk Hyun Lee,In Soo Lee,Seung Kyu Ryoo,Seung Yong Byun,Jae Hoon Lee,Cheol Seong Hwang

出处

期刊：Nanoscale [Royal Society of Chemistry]
日期：2023-01-01 卷期号：15 (40): 16390-16402 被引量：33

链接

标识

DOI：10.1039/d3nr02572a

摘要

This work investigates the impact of the switching ratio and NH 3 annealing on the fatigue characteristics of AlScN thin film.

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