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Wafer-Level Integration of Liquid Cooling Microchannel on CMOS Chips with Cu-Cu Low-Temperature Bonding Process

微通道 计算机冷却 材料科学 薄脆饼 过程（计算） 晶片键合 光电子学 CMOS芯片 温度测量 电子设备和系统的热管理 机械工程 纳米技术 计算机科学 工程类 热力学 操作系统 物理
作者
Zhizhen Wang,Dengyuan Song,Jianfeng Ye,Juan Yu,Jiazheng Wang,Y. Xie,X. Chu,Guangyao Li,Yaoqin Xie,Lihui Zhang,Zhongbao Hu,Shenglin Ma
标识
DOI：10.1109/icept67137.2025.11157006
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