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Continuous roller nanoimprinting: next generation lithography

材料科学 平版印刷术 纳米技术 纳米光刻 光电子学 制作 医学 病理 替代医学
作者
Zhiting Peng,Yage Zhang,Chin Long Ronald Choi,Pengcheng Zhang,Tianzhun Wu,Yau Kei Chan
出处
期刊：Nanoscale [Royal Society of Chemistry]
日期：2023-01-01 卷期号：15 (27): 11403-11421 被引量：13
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1039/d2nr06380h
摘要
Experience the future of lithography with roller nano imprinting, the revolutionary technology that will revolutionize our production processes.
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