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Lab-based multi-wavelength EUV diffractometry for critical dimension metrology

极紫外光刻 计量学 临界尺寸 维数（图论） 波长 材料科学 光学 计算机科学 纳米技术 光电子学 物理 数学 纯数学
作者
Brian M. Barnes,A. Chew,Nicholas W. Jenkins,Yunzhe Shao,Martin Y. Sohn,R. Joseph Kline,Daniel F. Sunday,Purnima P. Balakrishnan,Thomas A. Germer,Steven Grantham,Clay Klein,Stephanie L. Moffitt,Eric L. Shirley,Henry C. Kapteyn,Margaret M. Murnane
标识
DOI：10.1117/12.3050342
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