Structure and optical properties of HfO2 thin films on silicon after rapid thermal annealing

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作者
Tingting Tan,Zheng‐Tang Liu,Hongcheng Lu,Wenting Liu,Hao Tian
出处
期刊:Optical Materials [Elsevier]
卷期号:32 (3): 432-435 被引量:84
标识
DOI:10.1016/j.optmat.2009.10.003
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