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Reactive surface processing by irradiation with excimer laser, Nd:YAG laser, free electron laser and Ti:sapphire laser in nitrogen atmosphere
作者
E. Carpene,
Peter Schaaf,
M Han,
K.P. Lieb,
Michelle D. Shinn
出处
期刊：
Applied Surface Science
[Elsevier BV]
日期：2002-01-01
卷期号：186 (1-4): 195-199
被引量：39
链接
uni-goettingen.de
doi.org
标识
DOI：10.1016/s0169-4332(01)00625-0
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