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Silicon epitaxy using tetrasilane at low temperatures in ultra-high vacuum chemical vapor deposition

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作者

Ramsey Hazbun,John Hart,Ryan Hickey,Ayana Ghosh,Nalin Fernando,Stefan Zollner,Thomas Adam,J. Kolodzey

出处

期刊：Journal of Crystal Growth [Elsevier BV]
日期：2016-03-14 卷期号：444: 21-27 被引量：23

链接

sciencedirect.comdoi.org

标识

DOI：10.1016/j.jcrysgro.2016.03.018

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