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A heavily doped germanium pyramid array for tunable optical antireflection in the broadband mid-infrared range
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作者
Bongkwon Son,
Sangho Shin,
Yuhao Jin,
Yikai Liao,
Zhi‐Jun Zhao,
Jun‐Ho Jeong,
Qi Jie Wang,
Xincai Wang,
Chuan Seng Tan,
Munho Kim
出处
期刊：
Journal of Materials Chemistry C
[Royal Society of Chemistry]
日期：2022-01-01
卷期号：10 (15): 5797-5804
被引量：6
链接
rsc.org
handle.net
edu.sg
doi.org
标识
DOI：10.1039/d2tc00141a
摘要
A highly ordered microscale Ge inverted pyramid array is fabricated by HF-free metal-assisted chemical etching. Doping in the structure significantly modifies the reflection behavior in the mid-infrared region.
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