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Rolling V-groove microstructures on glass using a modified PDMS mold
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作者
Ming-Huai Hsu,
Yao-Yang Tsai,
J Gao,
Sen‐Yeu Yang
出处
期刊:
Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems
[Springer Science+Business Media]
日期:2024-03-29
卷期号:30 (7): 903-912
被引量:2
标识
DOI:10.1007/s00542-024-05632-z
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