Fabrication of high aspect ratio, non-line-of-sight vias in silicon carbide by a two-photon absorption method

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作者
Jared E. Payne,P. R. Nyholm,Ryan T. Beazer,Joseph Eddy,Hunter Stevenson,Bradley Ferguson,Stephen Schultz,Gregory N. Nielson
出处
期刊:Scientific Reports [Nature Portfolio]
卷期号:14 (1): 2176-2176 被引量:4
标识
DOI:10.1038/s41598-024-52672-6
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