Methods to improve the PCM yield of 12μm vanadium oxide uncooled infrared detector mass production process on 200mm wafers

氧化钒 薄脆饼 材料科学 产量(工程) 探测器 红外线的 过程(计算) 红外线加热器 光电子学 氧化物 冶金 计算机科学 光学 电信 物理 操作系统
作者
Ning Ning,Hongxi Zhou,Qiyu Zhang,Xiao Gong,Shengbao Cai,Jing Si,Peng Pan,Lulu Peng,Bojin Pan,Yadong Jiang
标识
DOI:10.1117/12.3056772
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