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Enhanced Passivation and Contact Properties of Boron Emitters through PECVD-Deposited Double Boron Silicate Glass Layers for High-Efficiency Tunnel Oxide Passivating Contact Solar Cells

材料科学 钝化 硼 等离子体增强化学气相沉积 氧化物 硅酸盐 硅 冶金 光电子学 化学工程 图层（电子） 纳米技术 化学 有机化学 工程类
作者
Xian Zhang,Haojiang Du,Wei Liu,Zunke Liu,Hongwei Zhou,Ruoyi Wang,Hong‐Yu Zhang,Huan Pu,Mingdun Liao,Zhiqin Ying,Xi Yang,Zhenhai Yang,Yuheng Zeng,Jichun Ye
出处
期刊：Materials Today Physics [Elsevier BV]
日期：2025-04-01 卷期号：: 101735-101735
标识
DOI：10.1016/j.mtphys.2025.101735
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