Unveiling growth mechanisms of PEALD In2O3 thin films with amide-based versus alkyl-based novel indium precursors

烷基 材料科学 酰胺 胺气处理 薄膜 氧化物 化学工程 纳米技术 有机化学 光电子学 冶金 化学 工程类
作者
Gyeong Min Jeong,Hae Lin Yang,Ara Yoon,Yoon-Seo Kim,Sangick Lee,Yong-Hee Kwone,Sangyong Jeon,Young-Jae Im,Jin‐Seong Park
出处
期刊:Journal of Materials Chemistry C [Royal Society of Chemistry]
卷期号:12 (28): 10575-10584 被引量:8
标识
DOI:10.1039/d4tc00868e
摘要

New indium precursors based on alkyl and amine ligands make a difference in the properties of indium oxide thin films.
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