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Effects of argon/nitrogen sputtering gas on the microstructural, crystallographic and piezoelectric properties of AlN thin films
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作者
Muhammad Izzuddin Abd Samad,
Mimiwaty Mohd Noor,
Nafarizal Nayan,
Ahmad Shuhaimi Abu Bakar,
Marwan Mansor,
Ahmad Wafi Mahmood Zuhdi,
Azrul Azlan Hamzah,
Rhonira Latif
出处
期刊：
Scripta Materialia
[Elsevier BV]
日期：2022-12-06
卷期号：226: 115228-115228
被引量：14
标识
DOI：10.1016/j.scriptamat.2022.115228
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