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An Empirical Investigation on the Effect of Oxygen Vacancy in ZrO2 Thin Film on the Frequency-Dependent Capacitance Degradation in the Metal–Insulator–Metal Capacitor
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作者
Dong Hee Han,
Seungwoo Lee,
Ji Hyeon Hwang,
Youngjin Kim,
M. Bonvalot,
C. Vallée,
P. Gonon,
Woojin Jeon
出处
期刊：
IEEE Transactions on Electron Devices
[Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2021-09-14
卷期号：68 (11): 5753-5757
被引量：12
链接
univ-grenoble-alpes.fr
doi.org
标识
DOI：10.1109/ted.2021.3110837
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