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Stress-Temperature Behavior of O3-TEOS Sub-Atmospheric CVD (SACVD) Oxide Films Deposited on Various Oxide Underlayers

材料科学 等离子体增强化学气相沉积 磁滞 氧化物 硅烷 化学工程 压力（语言学） 薄膜 复合材料 分析化学（期刊） 纳米技术 冶金 物理 化学 量子力学 工程类 语言学 哲学 色谱法
作者
Stuardo A. Robles,Ellie Yieh,M. Galiano,Kurt kwok,B. C. Nguyen
出处
期刊：MRS Proceedings [Springer Nature]
日期：1993-01-01 卷期号：308 被引量：1
标识
DOI：10.1557/proc-308-77
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