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作者
Zulin Hua,Zhangyan Dai,Xue Bai,Wei Pan,Xiaoyuan Zhang,Wenqiang Ma,Xin Huang,Li Gu
出处
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier]
日期：2014-05-29 卷期号：26: 410-418 被引量：8
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2014.05.029
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