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作者
Zulin Hua,
Zhangyan Dai,
Xue Bai,
Wei Pan,
Xiaoyuan Zhang,
Wenqiang Ma,
Xin Huang,
Li Gu
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2014-05-29
卷期号：26: 410-418
被引量：8
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2014.05.029
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