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Optimization of gas flow and etch depth uniformity for plasma etching of large area GaAs wafers

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作者

J.W. Lee,Phill Gu Jung,M. Devre,R. Westermann,S. J. Pearton

出处

期刊：Solid-state Electronics [Elsevier BV]
日期：2002-05-01 卷期号：46 (5): 685-688 被引量：9

标识

DOI：10.1016/s0038-1101(01)00328-8

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