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Development of an in-situ thickness measurement technique for film growth by APCVD

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作者
J. M. Rivero,Jonathan Marsh,D. Raisbeck
出处
期刊：Journal de physique [EDP Sciences]
日期：1999-09-01 卷期号：09 (PR8): Pr8-1011
标识
DOI：10.1051/jp4:19998125
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