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Influence of He-ion irradiation of ceramic AlN

辐照 材料科学 微晶 离子 结晶度 通量 氦 陶瓷 杂质 格子（音乐） 原子物理学 复合材料 化学 冶金 核物理学 有机化学 物理 声学
作者
Аrtem L. Kozlovskiy,Inesh Kenzhina,Kanat Dukenbayev,Maxim V. Zdorovets
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2019-02-06 卷期号：163: 45-51 被引量：22
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2019.02.005
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