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Effect of large work function modulation of MoS2 by controllable chlorine doping using a remote plasma

材料科学 兴奋剂 氯 工作职能 等离子体 光电子学 感应耦合等离子体 工作（物理） 分析化学（期刊） 调制（音乐） 金属 冶金 声学 物理 环境化学 化学 热力学 量子力学
作者
Ki Hyun Kim,Ki Seok Kim,You Jin Ji,Inyong Moon,Keun Heo,Dong‐Ho Kang,Kyong Nam Kim,Won Jong Yoo,Jin‐Hong Park,Geun Young Yeom
出处
期刊：Journal of Materials Chemistry C [Royal Society of Chemistry]
日期：2019-12-12 卷期号：8 (5): 1846-1851 被引量：28
标识
DOI：10.1039/c9tc05548g
摘要
In this study, a simple and controllable chlorine doping method of MoS2 using a remote inductively coupled plasma (ICP) was studied and the effect of doping on the properties of MoS2 was investigated by adjusting the work function of MoS2.
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