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Tin-coordinated hybrid photoresists for dose-efficient EUV lithography

极紫外光刻 材料科学 平版印刷术 光电子学 光刻 抵抗 下一代光刻 计算光刻 X射线光刻 电子束光刻 光学 光刻胶 纳米技术 浸没式光刻 多重图案 无光罩微影 聚合物
作者
S P Lee,Seokhyeon Baek,Hong‐Joon Lee,Jeongjae Park,Kyuha Park,Jaeil Park,Jin Goo Yoon,Jun‐Gyu Choi,Seong-Jin Park,Junghoon Lee
出处
期刊：Chemical Engineering Journal [Elsevier BV]
日期：2026-07-22 卷期号：547: 179809-179809
标识
DOI：10.1016/j.cej.2026.179809
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