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Synergistic mechanism of multi-energy fields: achieving atomic-scale smooth GaN surfaces via ultrasonic vibration-assisted electrochemical mechanical polishing
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作者
Haojie Guo,
Zirui Wang,
Chao Peng,
Tianyu Zhang,
Shengjie You,
Yang Peng,
Kunpeng Guan,
Yongguang Wang,
Xiaolong Lu,
Chuanyang Wang
出处
期刊：
Ceramics International
[Elsevier BV]
日期：2025-09-13
卷期号：51 (27): 54725-54738
被引量：4
标识
DOI：10.1016/j.ceramint.2025.09.199
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