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作者
Che-Min Lin,Chun-Fu Chang,Wan-Chen Hsieh,Ching‐Wen Chang,Yuyuan Zheng,Sung-Wei Yeh,Chun-Jung Su,Yu-Chiao Lin,Yu-Hsuan Yu,Chien‐Wei Chen,Chi‐Chung Kei,Chih-Hsiung Liao,Kung-Shiuh Huang,Kuan‐Tsae Huang,Di Chen,Wei‐Kan Chu,Li-Wei Tu,P. V. Wadekar,T. C. Leung,Hye-Won Seo
出处
期刊：Vacuum
[Elsevier BV]
日期：2021-06-12
卷期号：192: 110386-110386
被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2021.110386
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