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Test Objects with a Rectangular Profile for SEM: 3. Coordinate Measurements on a SEM

扫描电子显微镜校准材料科学光学航程（航空）电子硅物理复合材料光电子学量子力学

作者

Yu. A. Novikov

出处

期刊：Surface investigation: x-ray, synchrotron and neutron techniques [Pleiades Publishing]
日期：2020-09-01 卷期号：14 (5): 965-977 被引量：5

标识

DOI：10.1134/s1027451020050134

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