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Applications of atomic layer deposition to nanofabrication and emerging nanodevices
作者
Hyungjun Kim,
Han‐Bo‐Ram Lee,
W. J. Maeng
出处
期刊：
Thin Solid Films
[Elsevier BV]
日期：2008-09-14
卷期号：517 (8): 2563-2580
被引量：599
链接
ac.kr
doi.org
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2008.09.007
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